京仪装备 半导体专用温控设备国内极少数设备制造商

近日，上交所官网显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司(简称“京仪装备或公司”)科创板IPO审核状态更新为“提交注册”，京仪装备此次公开发行股票数量不超过4200万股。

京仪装备的主营产品包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备及晶圆传片设备，京仪装备是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商，也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商。

集成电路是一种微型的电子器件，被喻为现代工业的“粮食”。集成电路产业作为支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量，小到我们日常生活中的身份证、手机，大到航空母舰、火箭、卫星等国之重器，都离不开它的身影。

京仪装备的半导体专用温控设备产品主要应用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;半导体专用工艺废气处理设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片 以及64层到192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;晶圆传片设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片制造中若干关键步骤对的大规模量产。

京仪装备自主研发了核心算法，半导体专用温控装置运行温控精度可以达到±0.5℃，空载温控精度最高可达到±0.05℃。该算法也成为京仪装备半导体专用工艺废气处理设备的重要核心技术，通过该算法京仪装备可以根据不同客户工艺废气处理量的差异化需求实施定制化设计。

京仪装备通过建立符合市场竞争需要的激励约束机制，充分激发了员工活力，吸引了一批行业优秀人才，技术创新空间不断拓展，攻克多项行业领域技术难题。2019年自主研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机，打破国际垄断;2020年再次实现重大突破，自主研发出高速集成电路制造晶圆倒片机，同时通过了北京市首台(套)重大技术装备评定。截至目前，京仪装备已具备多项专利技术，荣获科技部认证的高新技术企业，并被认定为北京市2021年度“专精特新”小巨人企业，产品已广泛用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造产线。

2020-2021年间，京仪装备连续两次通过北交所完成增资，成功引入多家实力雄厚的战略投资者，在深入推进混合所有制改革的同时，也成为“技术+资本”双轮驱动下，助推我国集成电路高端装备制造业不断提速的典型范本。

此次赶赴科创板上市的京仪装备，拟募集9.06亿元，进一步加大对半导体设备的研发投入。京仪装备计划给安徽的集成电路制造专用高精密控制装备研发生产基地项目，投入5.06亿元募集资金。该募投项目建成后，京仪装备在安徽的生产基地将实现半导体专用温度控制设备、半导体专用工艺废气处理生产能力的大幅提升。

未来，京仪装备表示将主要对多通道、大负载和全温域的半导体专用温控设备技术、以及对燃烧式、等离子式、电加热式等类型的半导体专用工艺废气处理设备技术进行攻关。