中巨芯 国内少数集成电路重要化学材料生产商成功登陆科创板

9月8日，国内领先的电子化学材料生产商——中巨芯科技股份有限公司(以下简称“中巨芯”或“公司”)在上海证券交易所科创板挂牌上市，股票代码688549.SH，发行价格5.18元/股。

集成电路制造业是国民经济发展的战略性和基础性产业，被广泛应用于军事、航空航天、汽车、物联网、物流、人工智能、设备制造等领域。中巨芯现已形成电子湿化学品、电子特种气体、前驱体材料三大业务板块，其中电子湿化学品工艺水平和产品质量直接对集成电路制造的成品率、电性能及可靠性构成重要影响;电子特种气体是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料，广泛应用于刻蚀、清洗、掺杂、气相沉积等环节，决定了器件的最终良率和可靠性;前驱体材料是薄膜沉积工艺的核心制造材料，应用于半导体生产制造工艺，是集成电路制造过程中的关键技术。

集成电路工艺用电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在G4及以上水平，12英寸晶圆制造一般要求G4及G5水平。中巨芯的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸均达到G5级，被集成电路材料产业技术创新联盟评为五星产品;电子级盐酸、电子级氨水、电子级氟化铵、缓冲氧化物刻蚀液达到G4级，目前国内只有包括中巨芯在内的少数几家企业的产品品控能达到G4级及以上。

另外，公司已掌握HCDS、BDEAS、TDMAT等前驱体材料的生产制备技术，是国内少数能够进入该领域并完成产品生产的企业之一，产品主要用于沉积半导体导线间的介电层，以及在半导体栅极中复合金属材料。集成电路制造中先进制程(28nm及以下)会采用到原子层沉积技术，一般需要前驱体材料纯度达到6N以上，公司目前已实现纯度为6-7N的HCDS、BDEAS、TDMAT生产。

凭借优良的产品品质和丰富的产品组合，公司的电子湿化学品已获得了SK 海力士、台积电、德州仪器、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、厦门联芯等多家知名的半导体企业的认可;电子特种气体及前驱体材料也已陆续进入如中芯国际、厦门联芯、士兰微、立昂微、上海晶盟、华润微电子、德州仪器、京东方、华星光电等主流客户的试用与供应阶段。随着后续产品组合销售的优势逐步凸显，公司的市场地位将进一步拓展与巩固。

凭借优异的产品品质，公司在行业内形成了良好的口碑和市场影响力，曾获“重庆惠科—最佳供应商”、“上海晶盟—国产化替代杰出供货商”、“上海新傲—特别贡献奖”、“中芯国际—系列产品(硫酸、氢氟酸、硝酸、氨水、氯气)批量供应五周年”、“华虹宏力—国产超纯电子湿化学品首家量产供应商系列产品合作八周年”等多项荣誉。

未来，中巨芯将继续深化与科研院所、高等院校间的产、学、研合作，在联合开发电子化学材料新产品、人才培养等领域进行深度合作。此外，公司将加强与上下游，同行的合作与交流，与国内外的半导体设备供应商、各类集成电路技术创新平台加强新产品的共同开发与早期验证。